[发明专利]托盘升降装置、预热设备及高温托盘的冷却方法

摘要

本发明公开了一种托盘升降装置、预热设备及高温托盘的冷却方法，涉及半导体设备制造领域，能够有效提高对托盘的冷却速度，缩短工艺周期。本发明的托盘升降装置，设置在预热腔室内，所述预热腔室的底部内壁上具有冷却装置，所述托盘升降装置包括：升降驱动装置、托架、顶升装置以及冷却承载元件，其中：所述升降驱动装置，与所述托架连接，所述升降驱动装置用于驱动所述托架在预热腔室内做升降运动；所述顶升装置，设置在所述托架的上表面，所述顶升装置设置用于承载待加热的托盘；所述冷却承载元件，设置在所述托架的下表面，所述冷却承载元件用于承载工艺后待冷却的托盘。

主权项

一种托盘升降装置，设置在预热腔室内，所述预热腔室的底部内壁上具有冷却装置，其特征在于，所述托盘升降装置包括：升降驱动装置、托架、顶升装置以及冷却承载元件，其中：所述升降驱动装置，与所述托架连接，所述升降驱动装置用于驱动所述托架在预热腔室内做升降运动；所述顶升装置，设置在所述托架的上表面，所述顶升装置设置用于承载待加热的托盘；所述冷却承载元件，设置在所述托架的下表面，所述冷却承载元件用于承载工艺后待冷却的托盘；通过所述升降驱动装置带动所述托架在腔室内做升降运动，使得所述顶升装置或者冷却承载元件与预热腔室的传片口对齐，从而实现机械手从所述传片口向所述顶升装置传输待加热的托盘以及取出加热后的托盘，或者从所述传片口向冷却承载元件传输经过工艺后需要冷却的托盘以及取出冷却后的托盘；当机械手从所述传片口向冷却承载元件传输经过工艺后需要冷却的托盘后，所述升降驱动装置带动所述托架下降，使承载有需要冷却的托盘的冷却承载元件与所述预热腔室的底部内壁贴合，通过热传导实现对托盘的冷却。