[发明专利]晶圆传输系统

摘要

晶圆传输系统，其发明目的在于放弃真空腔室而代之以一种大气环境下的工作模式。该系统主要包括前端模块、传输模块和反应模块。上述前端模块主要由空气过滤器，金属框架结构，装有晶圆盒的晶圆盒装载口，前端模块机械手，前端模块滑轨组成。上述传输模块由金属框架结构，空气过滤器，滑轨，大气机械手组成。上述反应模块由真空装载腔，大气过渡阀门，反应腔，反应腔阀门，真空机械手组成。所述反应腔与真空装载腔组成一个反应模块，真空装载腔内配置真空机械手，可实现从大气环境中搬送晶圆到真空状态的反应腔，也可将沉积过薄膜的晶圆从反应腔搬送到大气环境中。本发明能够实现晶圆从传片腔与反应腔之间转移的需求，没有复杂的真空阀及真空泵等高成本零件，价格相对低廉，产能高。

主权项

一种晶圆传输系统，该系统包括前端模块，上述前端模块由空气过滤器、金属框架结构、装有晶圆盒的晶圆盒装载口、前端模块机械手及前端模块滑轨组成，其特征在于：它还包括传输模块和反应模块，上述传输模块由金属框架结构，空气过滤器，滑轨，大气机械手组成；上述反应模块由真空装载腔，大气过渡阀门，反应腔，反应腔阀门，真空机械手组成，上述各部分的连接关系是：反应腔与真空装载腔组成一个反应模块，真空装载腔内配置真空机械手，可实现从大气环境中搬送晶圆到真空状态的反应腔，也可将沉积过薄膜的晶圆从反应腔送到大气环境中，每个反应模块可同步进行2片晶圆的沉积，多个反应模块通过金属框架结构与前端模块连接，大气机械手在框架中通过滑轨运行，在前端模块8和反应模块间传递晶圆，各反应模块分布在滑轨两侧，前端模块设置在滑轨一端，每个晶圆入口处设置校准器和冷却站，校准器用来校准晶圆中心和定位缺口，冷却站用来使沉积过薄膜的晶圆降温，金属框架结构顶部设置空气过滤器，四周由钣金包围，仅留有供晶圆和大气机械手运行的通道，这种设计使过滤后的洁净气流自上而下吹扫，保证运行期间的洁净度。