[发明专利]用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201210516126.5 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103014641A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 陈宇 | 申请（专利权）人： | 广东志成冠军集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，包括真空相连的装载室、磁控溅射镀膜室以及收卷室，装载室内设置第一转轴，收卷室内设置第二转轴，第二转轴的输出端连接有使其均匀转动的动力装置，柔性线材的一端设置在第一转轴上，另一端固定在第二转轴上，以柔性线材为中心在磁控溅射镀膜室上环形均布至少三个溅射靶。通过将柔性线材依次穿设在装载室、磁控溅射镀膜室和收卷室内，并通过收卷室内的均匀转动的转轴使柔性线材均匀移动，可连续的对柔性线材镀膜，提高生产效率，利用磁控溅射镀膜技术对柔性线材镀膜，使膜层更加稳定可靠，磁控溅射镀膜室内绕柔性线材均匀设置多个溅射靶，使柔性线材外表面能进行完整的镀膜工作且膜层均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 柔性 线材 表面 镀膜 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】：
一种用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，包括真空相连的用于装载待镀柔性线材的装载室、用于对柔性线材进行镀膜的磁控溅射镀膜室以及用于对完成镀膜的柔性线材进行收卷的收卷室，所述装载室内设置用于对柔性线材放卷的第一转轴，所述收卷室内设置用于对柔性线材收卷的第二转轴，所述第二转轴的输出端连接有使其均匀转动的动力装置，所述柔性线材的一端设置在第一转轴上，另一端依次穿过所述装载室、磁控溅射镀膜室固定在所述收卷室内的第二转轴上，以柔性线材为中心在所述磁控溅射镀膜室上环形均布至少三个溅射靶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东志成冠军集团有限公司，未经广东志成冠军集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210516126.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
