[发明专利]一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构及测量方法

摘要

本发明公开了一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，包括衬底、被测十字梁、参考十字梁、下拉电极、拉动电极、衬底接触电极和窄条电极组；被测十字梁由第一横梁和第一扭转支撑梁组成，参考十字梁由第二横梁和第二扭转支撑梁组成，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁分别通过锚区连接在衬底上；衬底接触电极和下拉电极位于第一横梁同一侧下方；窄条电极组位于第二横梁一侧端部的下方；拉动电极位于第一横梁另一侧和第二横梁另一侧的下方；所述的窄条电极组包括至少三根相互平行布置的窄条电极，每根窄条电极的末端均连接一个压焊块。利用该测量结构能够获取被测十字梁的粘附力性能。本发明还公开了该测量结构的测量方法，方便易行。

主权项

一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、被测十字梁（2）、参考十字梁（3）、用于静电激励的下拉电极（4）、用于粘附分离的拉动电极（5）、衬底接触电极（6）和窄条电极组（7）；被测十字梁（2）和参考十字梁（3）具有相同尺寸和形状，且由相同材料制成；被测十字梁（2）由第一横梁（21）和与第一横梁（21）垂直交叉连接的第一扭转支撑梁（22）组成，参考十字梁（3）由第二横梁（31）和与第二横梁（31）垂直交叉连接的第二扭转支撑梁（32）组成，第一横梁（21）平行于第二横梁（31），第一扭转支撑梁（22）的两端和第二扭转支撑梁（32）的两端分别通过锚区连接在衬底（1）上，且第一扭转支撑梁（22）和第二扭转支撑梁（32）位于同一直线上；下拉电极（4）、拉动电极（5）、衬底接触电极（6）和窄条电极组（7）均连接在衬底（1）上，衬底接触电极（6）和下拉电极（4）位于第一横梁（21）同一侧下方，且衬底接触电极（6）位于第一横梁（21）端部的下方；窄条电极组（7）位于第二横梁（31）一侧端部的下方；拉动电极（5）位于第一横梁（21）另一侧和第二横梁（31）另一侧的下方；所述的窄条电极组（7）包括至少三根相互平行布置的窄条电极，相邻窄条电极之间留有间隙，每根窄条电极的末端均连接一个压焊块。