[发明专利]晶片检查用接口和晶片检查装置有效
| 申请号： | 201210517530.4 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103163334A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶片检查用接口，当进行形成在多个半导体元件的电特性检查时能够防止晶片弯曲。晶片检查用接口（18）包括：配置有多个探针（25）的探针卡（20）；保持该探针卡（20）的固定环（21）；夹着晶片（W）使其与探针卡（20）相对的吸盘（23）；密封由固定环（21）、探针卡（20）和吸盘（23）包围的外侧空间（27）的外侧密封环（24）；对外侧空间（27）进行减压的外侧减压路径（29）；密封由探针卡（20）和晶片（W）包围的内侧空间（28）的内侧密封环（26）；对内侧空间（28）进行减压的内侧减压路径（30）。内侧空间（28）被包含于外侧空间（27）且晶片（W）配置于内侧空间（28）内。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检查 接口 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片检查用接口，其特征在于，包括：探针卡，其在与晶片相对的面配置有多个探针；保持部件，其保持该探针卡的外周；台状的吸盘部件，其夹着所述晶片并与所述探针卡相对；第一密封部件，其介于所述保持部件与所述吸盘部件之间并将由所述保持部件、所述探针卡和所述吸盘部件包围的第一空间密封；和第一减压路径，其对所述第一空间进行减压，所述晶片配置于所述第一空间内。
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