[发明专利]用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法有效
| 申请号： | 201210518811.1 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103018651A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李博;杨拥军;徐爱东;卢新艳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 050051 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩阵开关，计算机分别与自动探针台、矩阵开关、测试模块连通，该系统的测试方法依次为完成探卡选择、圆片固定与初始定位、芯片参数测试与质量判断、取出圆片、数据管理等功能，完成整个圆片的全部测试。本测试方法能够准确、高效地完成MEMS器件微小电容、导通电阻、绝缘电阻、谐振频率、品质因数等参数的在片精确测试，并根据该测试方法建立一套完整的软硬件测试系统，用于MEMS器件的研制与生产。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 器件 测试 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于MEMS器件的在片测试系统，其特征在于包括自动探针台（2）、探卡（3）、矩阵开关（4）、测试模块（5）及计算机（6），所述自动探针台（2）上表面设有被测圆片（1），被测圆片（1）与探卡（3）连接，探卡（3）与测试模块（5）之间设有矩阵开关（4），计算机（6）分别与自动探针台（2）、矩阵开关（4）、测试模块（5）连通。
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