[发明专利]一种激光损伤阈值测试系统

摘要

本发明提供一种激光损伤阈值测试系统，包括高能激光损伤装置、高分辨率彩色CCD图像损伤判别装置、CCD辅助光源装置和样品台运动控制装置。该测试系统对经高能激光辐照后的待测样品，先后交替采用分别配有低倍和高倍率物镜光学系统的CCD采集单元进行初步快速损伤预判断和精确测量。采用本发明，不仅可有效地克服现有相衬显微法测量主观性强、测量误差大、测量时间长等缺点，而且还可同时满足1-on-1和R-on-1两种测量模式，既兼顾测量误差和测试效率、适用性强，又便于工业化应用。

主权项

一种激光损伤阈值测试系统，其特征在于，所述激光损伤阈值测试系统包括：高能激光损伤装置，包括激光器、衰减器、聚焦透镜、分束器和高反镜，其中，所述激光器发出的激光依次经由所述衰减器、所述聚焦透镜、所述分束器和所述高反镜会聚在待测样品的表面，所述激光器发出高能量的、波长为1064nm、脉冲宽度为12ns的激光束，所述衰减器对发出的激光能量进行调整，使调整后的激光能量在2～200mJ范围内线性变化，所述聚焦透镜对调整后的激光束进行聚焦处理，所述分束器按100∶1的比例将小能量的激光导入激光测试分析单元进行能量光束分析；高分辨率彩色CCD图像损伤判别装置，包括第一驱动步进电机、Z向运动机构、配有第一倍率物镜光学系统的CCD采集单元以及配有第二倍率物镜光学系统的CCD采集单元、CCD旋转夹持台，所述第二倍率高于所述第一倍率，其中，所述配有第一倍率物镜光学系统的CCD采集单元对来自高能激光损伤装置的激光辐照后的待测样品表面上的辐照点进行快速预判，筛选得到损伤测试点，然后通过配有第二倍率物镜光学系统的CCD采集单元对筛选后的未损伤测试点进行复检判断，所述CCD旋转夹持台用于实现配有第一倍率物镜光学系统的CCD采集单元以及配有第二倍率物镜光学系统的CCD采集单元在相同测试位置的旋转，所述Z向运动机构在所述第一驱动步进电机的作用下调整上述两个CCD采集单元的光路自动调焦；CCD辅助光源装置，包括角度可调光源夹持台和CCD辅助光源，所述角度可调光源夹持台用以控制所述CCD辅助光源的焦距；以及样品台运动控制装置，包括第二驱动步进电机、样品工装台和XY方向二维平移台，所述第二驱动步进电机使所述XY方向二维平移台工作从而自动调整待测样品的工位，所述样品工装台用以放置所述待测样品。