[发明专利]具有集成加热器的可调湿度传感器有效
| 申请号： | 201210519639.1 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103134837A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | O·伦菲尔;S·彻里安;R·尚卡;B·波;S·马桑内;M·韦亚纳 | 申请（专利权）人： | 意法半导体亚太私人有限公司;意法半导体有限公司;意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;庞淑敏 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 公开了一种具有集成加热器的可调湿度传感器。根据一个实施方式，一种电容式湿度传感器包括第一电极、湿度敏感电介质层以及第二电极。该湿度敏感电介质层位于所述第一电极和第二电极之间。该湿度敏感电介质层在选择的区域被刻蚀以在所述第一电极和所述第二电极之间形成中空区域。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 加热器 可调 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：第一电极；第一电极上方的第二电极；以及湿度敏感电介质材料，其介电常数基于环境湿度变化，且基于所述第一电极定位，且定位在所述第一电极和所述第二电极之间；以及通过所述第二电极延伸的至少一个孔径；以及所述湿度敏感电介质材料中的凹陷，其形成所述第一电极和所述第二电极之间、在第二电极的一部分下方延伸的中空区域，所述湿度敏感电介质在凹陷处具有的第一厚度，以及在与所述凹陷隔开的位置具有第二更大厚度。
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