[发明专利]一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台有效

专利信息
申请号: 201210519763.8 申请日: 2012-12-07
公开(公告)号: CN103021473A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 闫鹏;刘鹏博;张震;王鹏 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G12B5/00 分类号: G12B5/00
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 郑华清
地址: 250061 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明具体公开了一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台,包括基座、下层平台、第一导轨、上层平台、第二导轨、所述的第一导轨固定于基座上,下层平台沿第一导轨滑动,所述的第二导轨固定在下层平台上,上层平台沿第一导轨滑动,还包括第一音圈电机、滑块、滑轨和第二音圈电机,所述的滑轨设于上层平台的一端,且滑轨上设有自由滑动的滑块,滑块与第二音圈电机的动子连接;所述的第一音圈电机的动子与下层平台的一端固定连接;所述的两个音圈电机的定子均固定在固定板上,所述的下层平台和第二音圈电机上分别设有位移传感器。
搜索关键词: 一种 直驱式 运动 高精度 伺服 平台
【主权项】:
一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台,包括基座、下层平台、第一导轨、上层平台和第二导轨,所述的第一导轨固定于基座上,下层平台沿第一导轨滑动,所述的第二导轨固定在下层平台上,上层平台沿第一导轨滑动,其特征在于:还包括第一音圈电机、滑块、滑轨和第二音圈电机,所述的滑轨设于上层平台的一端,且滑轨上设有自由滑动的滑块,滑块与第二音圈电机的动子连接;所述的第一音圈电机的动子与下层平台的一端固定连接;所述的两个音圈电机的定子均固定在固定板上,所述的下层平台和第二音圈电机上分别设有位移传感器。
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