[发明专利]一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器

摘要

本发明公开了一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。由于炉体中心孔周围支架采用多层发热丝卡槽结构，可有效防止中心轴热量散失而影响温度均匀性，炉体周边支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，可有效防止热量向外散失而影响温度均匀性。

主权项

一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、炉体中间设有一中心孔，其特征是中心孔的周围设有第一支架，炉体的周边设有第二支架，炉体上位于第一支架和第二支架之间设有第三支架；所述第一支架的头部上设有呈上下多层排列的发热丝卡槽，第二支架的头部上边和外侧边分别设有多个发热丝卡槽，第三支架的头部设有一个发热丝卡槽，所述卡槽内设有发热丝。