[发明专利]压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置

摘要

本发明提供压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置。在压电马达中，利用缓冲部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持包含压电材料的振动体的两侧，并经由弹性部利用压盖将缓冲部按压于振动体，在该状态下将其收纳于振动体壳体。此外，在缓冲部与弹性部之间设置压板，从而限制压板的沿振动体的振动方向的移动。

主权项

一种压电马达，其特征在于，该压电马达具有：振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；以及加压弹性体，该加压弹性体朝使所述振动体的所述凸部与对象物接触的方向对所述振动体壳体施力，所述压电马达通过使所述振动体产生伸缩振动和弯曲振动来使所述对象物移动，其中，所述压电马达具备：缓冲部，该缓冲部在所述振动体壳体内从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的两侧，且包含具有动态粘弹性的材料而形成；压盖，该压盖安装于所述振动体壳体；以及碟形弹簧，该碟形弹簧设置于所述压盖与所述缓冲部之间，并被所述压盖压缩，在所述缓冲部与所述碟形弹簧之间设置有压板，该压板的沿所述振动体的伸缩方向以及弯曲方向的移动被限制。