[发明专利]一种矩形梳状慢波结构的制造方法有效

专利信息
申请号: 201210524105.8 申请日: 2012-12-07
公开(公告)号: CN103854936B 公开(公告)日: 2017-08-25
发明(设计)人: 王自成;胡京军;李现霞;刘青伦;李海强;徐安玉 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: H01J9/00 分类号: H01J9/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100080 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种双排或单排矩形梳状慢波结构的制造方法。其主要步骤为制造上下梳栅网毛坯、上下矩形梳底板和矩形梳结构用管壳;用激光切割方法在上下梳栅网毛坯上制造出上下矩形梳栅网;将上下矩形梳栅网分别焊接在上下矩形梳底板上,形成无电子注通道的上下矩形梳结构;在无电子注通道的上下矩形梳结构上制造出半圆形电子注通道,形成上下矩形梳结构;最后把上下矩形梳结构塞入双排矩形梳结构用管壳,制成双排矩形梳状慢波结构;或仅把下矩形梳结构塞入单排矩形梳结构用管壳,制成单排矩形梳状慢波结构。本发明所制造的矩形梳状慢波结构可用于微波、毫米波、亚毫米波乃至THz行波管、返波管和分布作用速调管(EIK)等。
搜索关键词: 一种 矩形 梳状慢波 结构 制造 方法
【主权项】:
一种矩形梳状慢波结构的制造方法,该方法包括:(1)制造梳栅网毛坯、矩形梳底板和矩形梳结构用管壳;(2)用激光切割方法对梳栅网毛坯进行处理以得到矩形梳栅网;(3)利用矩形梳栅网和矩形梳底板获得矩形梳结构;(4)将矩形梳结构挤塞入矩形梳结构用管壳,得到矩形梳状慢波结构;其中梳栅网毛坯是利用电火花线切割或其他任何可行方法制造的长条形薄板,长度与矩形梳状慢波结构的长度相同,宽度方向的中间为矩形梳栅网预留区域,宽度方向两边分别为左侧支撑定位边沿和右侧支撑定位边沿,厚度为矩形梳状慢波结构的厚度与后续加工所需冗余层的厚度之和;步骤(2)具体为利用激光切割方法在梳栅网毛坯的矩形梳栅网预留区域中制造一系列相同尺寸的矩形通槽得到矩形梳栅网,这些矩形通槽沿着梳栅网毛坯的长度方向均布排列,通槽之间的部分称为栅梁,栅梁厚度与通槽宽度相等;其中,所述梳栅网毛坯、矩形梳底板和矩形梳结构用管壳分别为上、下梳栅网毛坯,上、下矩形梳底板和双排矩形梳结构用管壳,则得到的矩形梳状慢波结构为双排矩形梳状慢波结构,上矩形梳栅网中,上下两端以栅梁开始;下矩形梳栅网中,上下两端以豁口的通槽开始,且上下两端的豁口通槽的宽度之和与处在中间区域的一个矩形通槽的宽度相同。
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