[发明专利]一种复合掩模板在审
| 申请号： | 201210524525.6 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103862744A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B27/06;B32B38/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合掩模板，所述复合掩模板，至少包括两层相互贴紧联接平板结构，至少一层为金属层结构，至少一层为非金属层结构，所述金属层结构与所述非金属层结构之间具有良好的结合力，复合模板上设置有贯通开口；非金属层结构为聚合物层结构。本发明提供的复合掩模板采用激光加工多层不同质板层结构，利用材料自身特点，则可以解决以往单层制作的掩模板无法解决的开口粗糙度低、精度高的共存问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 模板 | ||
【主权项】：
一种复合掩模板，其特征在于，至少包括两层相互贴紧联接平板结构，至少一层为金属层结构，至少一层为非金属层结构，所述金属层结构与所述非金属层结构之间贴紧结合，所述复合模板上设置有贯通开口。
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