[发明专利]一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法有效
| 申请号： | 201210525175.5 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103043599A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;孙旭明;郑阳;李忠亮 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01F41/00;H01F41/02;H01F17/00;H01F17/04 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤：（A）衬底上生长柔性薄膜；任选的（A1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；任选的（A2）溅射种子层；（B）电镀线圈；（C）电镀磁芯；任选的步骤（C1）去除光刻胶和去除种子层；（D）生长柔性薄膜；任选的（D1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；（E）剥离电感，得到柔性聚合物衬底的三明治结构螺旋电感。通过在柔性衬底上电镀铜线圈和铁镍磁芯得到的微型三明治结构螺旋电感L值和Q值高，面积小，可折叠，生物兼容性好，工艺简单，成本低。制得的电感可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 聚合物 衬底 螺旋 电感 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法，按顺序包括如下步骤：（A）衬底上生长柔性薄膜；任选的（A1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；任选的（A2）溅射种子层；（B）电镀线圈；（C）电镀磁芯；任选的步骤（C1）去除光刻胶和去除种子层；（D）生长柔性薄膜；任选的（D1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；（E）剥离电感，得到柔性聚合物衬底的三明治结构螺旋电感。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210525175.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
