[发明专利]一种测量双极性器件峰值结温分布的方法在审

专利信息
申请号: 201210525358.7 申请日: 2012-12-07
公开(公告)号: CN103868612A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 朱阳军;董少华;王任卿;陆江 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01K7/00 分类号: G01K7/00
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 刘丽君
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种测量双极性器件峰值结温分布的方法,属于双极性器件的技术领域。该方法包括采集双极性器件的多阶梯恒流脉冲所对应的温敏参数,获得双极性器件的电流-温敏参数-温度三维曲线簇;选定基准电流,得到基准电流的序列;根据电流-温敏参数-温度三维曲线簇和基准电流的序列,得到电流-有效面积-温敏参数-温度曲线簇;通过多阶梯恒流脉冲多次测试双极性器件,得到零时刻温敏参数;根据零时刻温敏参数和电流-有效面积-温敏参数-温度曲线簇,得到不同有效面积所对应的结温。本发明通过测量器件有源区的相关参数,可以提供更准确可靠的信息,与实际的温度分布和峰值结温符合的较好。
搜索关键词: 一种 测量 极性 器件 峰值 分布 方法
【主权项】:
一种测量双极性器件峰值结温分布的方法,其特征在于,包括如下步骤:在恒温装置内,采集双极性器件的多阶梯恒流脉冲所对应的温敏参数,获得所述双极性器件的电流‑温敏参数‑温度三维曲线簇;设定所述双极性器件的有效面积,根据MQH算法,选定基准电流,得到所述基准电流的序列;根据所述电流‑温敏参数‑温度三维曲线簇和所述基准电流的序列,得到电流‑有效面积‑温敏参数‑温度曲线簇;通过所述多阶梯恒流脉冲多次测试所述双极性器件,得到同一电流在不同时间的温敏参数,然后将所述同一电流在不同时间的温敏参数进行多项式拟合,得到零时刻温敏参数;根据所述零时刻温敏参数和所述电流‑有效面积‑温敏参数‑温度曲线簇,得到所述有效面积所对应的结温。
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