[发明专利]一种原子力显微镜用制冷温控装置有效
| 申请号： | 201210527108.7 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103019271A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 任晓川;赖远明;张保平 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 730030 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜用制冷温控装置，包括固定于底座的底板、样品台、两个独立的半导体制冷模块、两个独立的温度传感器、两个温度控制器、循环水泵、两个冷却水模块，所述底板中心处设置有样品台，两个所述半导体制冷模块分别通过电缆与温度控制器连接，两个所述温度传感器分别通过电缆与温度控制器连接；所述循环水泵通过进水管道与冷却水模块相连，所述冷却水模块与出水管道与循环水泵相连接。本发明克服现有技术中噪声、振动等缺陷，以实现在原子力显微镜允许条件下稳定温度控制，且振动小、制冷效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 制冷 温控 装置 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜用制冷温控装置，包括固定于底座的底板、样品台、两个独立的半导体制冷模块、两个独立的温度传感器、两个温度控制器、循环水泵、两个冷却水模块，其特征在于，所述底板中心处设置有样品台，两个所述半导体制冷模块分别通过电缆与温度控制器连接，两个所述温度传感器分别通过电缆与温度控制器连接；所述循环水泵通过进水管道与冷却水模块相连，所述冷却水模块与出水管道与循环水泵相连接。
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