[发明专利]有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法无效
| 申请号： | 201210528111.0 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103691255A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 古明见 | 申请（专利权）人： | 古明见 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;C01C1/12 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：将有机金属化学气相沉积法(MOCVD)所产生的废气导入至水中；将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出；借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化学 沉积 废气 回收 再生 方法 | ||
【主权项】：
一种有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：(A)将有机金属化学气相沉积法所产生的废气导入至水中；(B)将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及(C)将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出；借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。
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