[发明专利]掩膜版传输装置和方法有效
| 申请号： | 201210528214.7 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103863821A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 郑教增;刘晓;徐伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/90;B25J9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜版传输装置，包括第一掩膜版库、第二掩膜版库、预对准机构、第一传输机构和第二传输机构，所述掩膜版通过所述第一传输机构在所述第一掩膜版库、第二掩膜版库与所述预对准机构之间传输，所述掩膜版通过所述第二传输机构在所述掩膜台、所述预对准机构与第二掩膜版库之间传输，所述第一传输机构和所述第二传输机构均包括机械手、单轴运动系统和气缸，所述单轴运动系统和所述气缸分别驱动所述机械手沿互相垂直的两个方向运动。本发明通过单轴运动系统和气缸的叠加使用实现机械手在互相垂直的两个方向上进行运动，采用多个单自由度的系统代替了多自由度的机械手，提供一种运行和控制都更简单高效的掩膜版传输装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 传输 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜版传输装置，用于完成掩膜版在掩膜版库与掩膜台之间的传输，其特征在于：包括第一掩膜版库、第二掩膜版库、预对准机构、第一传输机构和第二传输机构，所述掩膜版通过所述第一传输机构在所述第一掩膜版库、第二掩膜版库与所述预对准机构之间传输，所述掩膜版通过所述第二传输机构在所述掩膜台、所述预对准机构与第二掩膜版库之间传输，所述第一传输机构和所述第二传输机构均包括机械手、单轴运动系统和气缸，所述单轴运动系统和所述气缸分别驱动所述机械手沿互相垂直的两个方向运动。
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