[发明专利]一种用于隔振的柔性装置及使用该装置的光刻设备有效
| 申请号： | 201210529669.0 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103867622A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;王茜;赵灿武;王璟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16F7/00 | 分类号： | F16F7/00;F16F15/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于隔振的柔性装置，能有效将被隔振物体的六自由度模态控制在较低频率范围内，包括：第一接口、第二接口以及位于该第一第二接口中间的主体件，该主体件包括一中空圆柱以及位于该中空圆柱外表面的螺旋坡口。本发明还公开一种使用该柔性装置的光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 柔性 装置 使用 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种用于隔振的柔性装置，其特征在于，包括：第一接口、第二接口以及位于所述第一第二接口中间的主体件，所述主体件包括一中空圆柱以及位于所述中空圆柱外表面的螺旋坡口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210529669.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具缓冲功能的起动机减速机构
- 下一篇：双层强力拉链及其拉链链齿
