[发明专利]用于处理载体的设备和用于处理载体的方法有效
| 申请号： | 201210529849.9 | 申请日： | 2012-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103077878A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | M·恩格尔哈特 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马永利;朱海煜 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开了用于处理载体的设备和用于处理载体的方法。各种实施例提供用于处理载体的设备，所述设备包括：被配置成接收载体的载体接收部分，所述载体包括一个或多个平坦区域和一个或多个边缘区域；处理部分，其包括：第一电极；第二电极，其中第二电极与第一电极分开；以及形成在第一电极和第二电极之间的介电材料；以及其中第一电极被配置成接收第一电位并且第二电极被配置成接收第二电位以激活第一电极和第二电极之间的供应的气体；其中第一电极和第二电极被布置成与导向载体的一个或多个平坦区域相比，将更多的供应的激活气体导向一个或多个边缘区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 载体 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于处理载体的设备，所述设备包括：载体接收部分，其被配置成接收载体，所述载体包括一个或多个平坦区域和一个或多个边缘区域；处理部分，其包括：第一电极；第二电极，其中所述第二电极与所述第一电极分开；以及介电材料，其被形成在所述第一电极和所述第二电极之间；以及其中所述第一电极被配置成接收第一电位并且所述第二电极被配置成接收第二电位以激活所述第一电极和所述第二电极之间的供应的气体；其中所述第一电极和所述第二电极被布置成与导向所述载体的所述一个或多个平坦区域相比，将更多的供应的激活气体导向所述一个或多个边缘区域。
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