[发明专利]一种轴承钢表面Ta薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210532164.X | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN102978579A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李忠文;唐光泽;马欣新 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/48;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴瑾瑜 |
| 地址： | 200336 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于表面膜层强化技术领域，特别涉及一种轴承钢表面Ta基薄膜的制备方法，首先将轴承钢表面的预处理，将轴承钢表面打磨、抛光后置于有机溶剂中超声清洗并吹干；然后将工件在真空状态下进行表面溅射清洗，并在工件表面进行非金属离子注入；再将Ta表面进行溅射清洗，并将上述工序得到的工件表面沉积Ta基薄膜；最后将Ta基薄膜进行非金属离子注入。采用本发明方法得到的轴承钢的硬度高、耐磨性好，经过测试，轴承钢的硬度至少提高了80%，磨损率下降了65%左右，有效延长了轴承钢的使用寿命。而且所制备的薄膜与基体间没有明显的界面，能够实现冶金结合，提高了结合力，同时也提高了工件的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴承钢 表面 ta 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种轴承钢表面Ta基薄膜的制备方法，其步骤包括：（1）轴承钢表面的预处理，将轴承钢表面打磨、抛光后置于有机溶剂中超声清洗并吹干；（2）将步骤（1）中的工件在真空状态下进行表面溅射清洗，然后在工件表面进行非金属离子注入；（3）将Ta表面进行溅射清洗，然后在步骤（2）中得到的工件表面沉积Ta基薄膜；（4）将步骤（3）中的Ta基薄膜进行非金属离子注入。
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