[发明专利]一种高效太阳能电池的制备工艺无效

专利信息
申请号: 201210533427.9 申请日: 2012-12-12
公开(公告)号: CN102969404A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 鲁伟明;初仁龙;费存勇;王志刚 申请(专利权)人: 泰通(泰州)工业有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;B41M1/12
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 225312 江苏省泰州市九*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高效太阳能电池的制备工艺,包括以下步骤:a.将硅片清洗,去损伤层,制绒;b.将硅片放入管式扩散炉中,进行扩散;c.将扩散后的硅片去除磷硅玻璃并刻蚀掉表面死层;d.在发射极表面沉积氮化硅钝化减反射层;e.丝网印刷背电极和正面电极或者电镀正面电极;f.烧结并测试分选。这种高效太阳能电池的制备工艺综合了两种发射极的优点,保证在方阻比较低的情况下,结比较浅,保证了电极和基体之间的接触电阻比较低,大大降低了发射极饱和电流密度,显著提高太阳能电池的短波响应,提高太阳能电池的开路电压和短路电流。
搜索关键词: 一种 高效 太阳能电池 制备 工艺
【主权项】:
一种高效太阳能电池的制备工艺,其特征是,包括以下步骤:a.将硅片清洗,去损伤层,制绒;b.将硅片放入管式扩散炉中,进行扩散;c.将扩散后的硅片去除磷硅玻璃并刻蚀掉表面死层;d.在发射极表面沉积氮化硅钝化减反射层;e.丝网印刷背电极和正面电极或者电镀正面电极;f.烧结并测试分选。
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