[发明专利]一种高效太阳能电池的制备工艺无效
申请号: | 201210533427.9 | 申请日: | 2012-12-12 |
公开(公告)号: | CN102969404A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 鲁伟明;初仁龙;费存勇;王志刚 | 申请(专利权)人: | 泰通(泰州)工业有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41M1/12 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 225312 江苏省泰州市九*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高效太阳能电池的制备工艺,包括以下步骤:a.将硅片清洗,去损伤层,制绒;b.将硅片放入管式扩散炉中,进行扩散;c.将扩散后的硅片去除磷硅玻璃并刻蚀掉表面死层;d.在发射极表面沉积氮化硅钝化减反射层;e.丝网印刷背电极和正面电极或者电镀正面电极;f.烧结并测试分选。这种高效太阳能电池的制备工艺综合了两种发射极的优点,保证在方阻比较低的情况下,结比较浅,保证了电极和基体之间的接触电阻比较低,大大降低了发射极饱和电流密度,显著提高太阳能电池的短波响应,提高太阳能电池的开路电压和短路电流。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 太阳能电池 制备 工艺 | ||
【主权项】:
一种高效太阳能电池的制备工艺,其特征是,包括以下步骤:a.将硅片清洗,去损伤层,制绒;b.将硅片放入管式扩散炉中,进行扩散;c.将扩散后的硅片去除磷硅玻璃并刻蚀掉表面死层;d.在发射极表面沉积氮化硅钝化减反射层;e.丝网印刷背电极和正面电极或者电镀正面电极;f.烧结并测试分选。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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