[发明专利]一种具有防撞功能的硅片台

摘要

一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体和线缆台，线缆台安装在硅片台的一个侧面，硅片台含有三个气囊、四个阻尼缓冲元件和气源，三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件和气体管路相连通，气体管路固定在线缆台上与气源相连通。当两个硅片台发生碰撞时，两个硅片台的气囊首先撞上，内部气体受到挤压，部分通过两侧阻尼缓冲原件的调节排出气囊，既缓冲了冲击力，又使得了硅片台不被反弹出去。由于该防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。

主权项

一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体（1）和线缆台（2），所述的线缆台安装在硅片台的一个侧面，其特征在于：所述硅片台还含有三个气囊（3）、四个阻尼缓冲元件（4）和气源（6），所述的三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架（5）固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件（4）和气体管路相连通，所述的气体管路与气源（6）相连通，气体管路固定在线缆台上。