[发明专利]一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置

摘要

本发明公开了一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置；该锡液滴靶产生装置包括第一储液器、压力装置、恒温控制器、真空喷射室、喷孔和均匀扰动装置；喷孔位于第一储液器底部与真空喷射室顶部之间，使得第一储液器与真空喷射室连通；在第一储液器与真空喷射室压力差的作用下，液体从喷孔喷出并形成射流柱；均匀扰动装置给第一储液器中的液体施加均匀扰动并使得射流柱断裂形成均匀液滴靶。本发明克服了气体靶的靶材密度对激光致等离子体极紫外辐射转换效率的限制，也相当大部分的改善了固体靶的靶材碎屑对光学元件的损伤；本发明产生的靶材液滴均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠。

主权项

一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置，其特征在于，包括：第一储液器，用于储存工作物质；压力装置，用于使得所述第一储液器中保持正压；恒温控制器，用于对所述第一储液器中储存的工作物质进行加热使所述工作物质熔化成液体状态并保持恒温；真空喷射室，位于所述第一储液器的底部，用于使喷射环境保持真空状态；喷孔，位于所述第一储液器底部与所述真空喷射室顶部之间，使得第一储液器与所述真空喷射室连通；在第一储液器与真空喷射室压力差的作用下，液体从所述喷孔喷出并形成射流柱；以及均匀扰动装置，用于给所述第一储液器中的液体施加扰动并使得所述射流柱断裂形成均匀液滴靶。