[发明专利]一种磷化镓多晶体中掺锌方法有效
申请号: | 201210535514.8 | 申请日: | 2012-12-12 |
公开(公告)号: | CN103866390A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 林泉;邢媛媛;马英俊;张洁 | 申请(专利权)人: | 有研光电新材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B29/44 | 分类号: | C30B29/44;C30B25/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 065001 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种磷化镓多晶体中掺锌方法,它是一种在磷化镓多晶合成过程中掺入锌杂质,其中,将锌放入装镓的石墨管中,将石墨管封在石英反应管中,放入高压区熔合成炉,将镓端升温、磷端升温,到达温度后开始合成,移动石英反应管,对磷端进行升温,测试合成好的掺锌磷化镓多晶头尾杂质浓度。本发明的优点是:可以直接用于拉制掺锌磷化镓单晶,而不用在单晶拉制时另外加入杂质锌,因此,单晶拉制过程减少了锌的挥发,便于拉晶过程的观察,有利于提高单晶成品率,又能很好地控制单晶的掺杂浓度。 | ||
搜索关键词: | 一种 磷化 多晶体 中掺锌 方法 | ||
【主权项】:
一种磷化镓多晶体中掺锌方法,其特征在于:它是一种在磷化镓多晶合成过程中掺入锌杂质,其中,将锌放入装镓的石墨管中,将石墨管封在石英反应管中,放入高压区熔合成炉,将镓端升温、磷端升温,到达温度后开始合成,移动石英反应管,对磷端进行升温,测试合成好的掺锌磷化镓多晶头尾杂质浓度。
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