[发明专利]真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法有效
| 申请号： | 201210536501.2 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103033338A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 何玲平;陈波;王晓光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法，涉及真空紫外波段成像系统的平场定标装置及方法，解决现有由于材料、工艺及技术的限制，无法实现对真空紫外成像系统进行平场定标的标问题，本发明通过采用真空紫外空心阴极光源及真空紫外单色仪获取目标波长定标光束；通过准直反射镜将单色仪后方针孔模拟成无限远成像目标；真空罐内运动平台旋转使得带定标成像系统以不同的视场角接受平行光，使针孔成像在像面上不同位置；以插值方式得到视场扫描所未覆盖像面上的位置得灰度响应；以视场中心灰度响应为标准，计算不同位置的相对响应值，得到平场定标结果。本发明解决目前真空紫外波段成像系统的平场定标问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 紫外 波段 成像 系统 定标 装置 方法 | ||
【主权项】：
真空紫外波段成像系统的平场定标装置，该装置包括真空罐（7）、真空紫外单色仪（2）、四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12），所述真空紫外单色仪（2）包括入射狭缝（3）、光栅室（4）、出射狭缝（5）和针孔（6）；其特征是，所述四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12）设置在真空罐（7）内，所述待定标成像系统（12）固定在四维运动平台（9）上，真空紫外空心阴极光源（1）光束经真空紫外单色仪（2）的入射狭缝（3）进入光栅室（4）分光，出射狭缝（5）处设置针孔（6），分光后的光束依次经出射狭缝（5）和针孔（6）后经准直反射镜（8）变为平行光束；所述平行光束在待定标成像系统（12）上成像。
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