[发明专利]带PVD纳米硬铬涂层的金属工件及其生产工艺无效
| 申请号： | 201210536513.5 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103031518A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 何霞文 | 申请（专利权）人： | 何霞文 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带PVD纳米硬铬涂层的金属工件，包括工件本体，工件本体上镀有PVD纳米硬铬涂层，其生产工艺：1)工件放进带中性净洗剂的超声波中清洗；2)装进PVD真空镀膜机关门抽真空，加温、二次炉内离子束放电清洗；3)在真空背景下炉内加入惰性气体，加负偏压，开电弧靶进行炉内第三次离子束电弧清洗；4)电场和磁场的作用下使单金属靶的铬金属以铬离子方式在工件上致密成PVD纳米硬铬涂层。本发明所述PVD镀前处理为中性水处理，对环境无污染，用水量小，符合国家减能节排的标准；PVD纳米硬铬可改善普通金属表面的特性，在模具上具有很实用的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 纳米 涂层 金属 工件 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
带PVD纳米硬铬涂层的金属工件的生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：1)将工件放进带中性净洗剂的超声波中清洗、过纯净水、吹干或烘干、检验；2)装夹，装进PVD真空镀膜机关门抽真空，加温至100‑300度、二次炉内离子束放电清洗；3)在真空背景下炉内加入惰性气体，给工件加上负偏压100‑1000V，打开电弧靶进行炉内第三次离子束电弧清洗；4)接着降低偏压、调节靶的电流、惰性气体的流量，真空炉内通过电场和磁场的作用下使单金属靶的铬金属以铬离子方式在工件上致密成PVD纳米硬铬涂层，冷却出炉，检验出货。
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