[发明专利]一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备

摘要

本发明属于用物理冶金技术提纯技术领域，特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备，在真空下电子束熔炼高磷硅料得到低磷硅熔体，将低磷硅熔体倒入凝固坩埚中凝固；重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序，直到凝固坩埚装满；将另一个空的凝固坩埚旋转至硅液倒料口下方，重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序，直到该凝固坩埚装满；重复上述装满凝固坩埚和旋转另一个空的凝固坩埚至硅液倒料口下方的工序，直至所有凝固坩埚装满，待所有凝固坩埚中低磷硅熔体凝固成铸锭后取出铸锭。该发明方法减少了多次熔炼的整体提纯时间，降低了抽真空和电子枪预热的次数，提高了生产效率，本发明的设备，结构紧凑，易于操作，安全可控，生产效率高。

主权项

一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法，其特征是：先在真空条件下使用电子束将熔炼坩埚中的高磷硅料加热至完全熔化成硅熔体，持续熔炼使硅熔体中挥发性杂质充分挥发得到低磷硅熔体，之后将低磷硅熔体通过硅液倒料口倾倒入凝固坩埚中进行凝固；倾倒完毕后将熔炼坩埚复原，向熔炼坩埚中添加高磷硅料，使用电子束熔炼提纯熔炼坩埚中的高磷硅料，待熔炼提纯完成后将低磷硅熔体倒入凝固坩埚中进行凝固，重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序，直到凝固坩埚装满；将另一个空的凝固坩埚旋转至硅液倒料口下方，重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序，直到该凝固坩埚装满；重复上述装满凝固坩埚和旋转另一个空的凝固坩埚至硅液倒料口下方的工序，直至所有凝固坩埚装满，待所有凝固坩埚中低磷硅熔体凝固成铸锭后取出，得到低磷多晶硅铸锭。