[发明专利]成膜装置及成膜方法

摘要

本发明提供成膜装置及成膜方法。在基板上成膜气相生长膜的成膜装置(1)具备反应室(2)、排气机构(3)以及将它们连接的配管(4)。在配管(4)的途中配设捕集部(5’)，该捕集部(5’)上连接有向内部供给非活性气体(15)的非活性气体供给管(11)和排出反应生成物(14)的排出管(16)。在成膜时，在反应室(2)内配置基板，并从反应气体供给管(8)供给反应气体(7)，而在基板上进行成膜。捕集部(5’)收集废气(6)中的反应生成物(14)。在成膜之后，从非活性气体供给管(11)向捕集部(5’)供给非活性气体(15)，将蓄积的反应生成物(14)从排出管(16)压送到无害化装置(20)。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具备：反应室，具有供给反应气体的反应气体供给部，在基板上进行基于气相生长反应的成膜；捕集部，捕捉从上述反应室排出的废气中的上述气相生长反应的反应生成物；排气机构，将除了由上述捕集部捕捉的上述反应生成物以外的上述废气向外部排出；以及非活性气体供给部，为了将所捕捉的上述反应生成物压送到上述捕集部的外部，而向上述捕集部内供给非活性气体。