[发明专利]双滑块高精度惯性压电马达及控制法与扫描探针显微镜

摘要

本发明双滑块高精度惯性压电马达，包括压电体、主导轨、主滑块，其特征是还包括副导轨、副滑块，目标架，主导轨与副导轨分别固定于压电体形变的两端，主滑块与副滑块分别设置于主导轨与副导轨上，目标架固定于副导轨上，主导轨与副导轨的导向方向均与压电体的形变方向一致，主滑块与主导轨间的最大静摩擦力大于副滑块与副导轨之间的最大静摩擦力，各部件的配合为：压电体向着目标架的缓慢形变推动主导轨连同其上的主滑块一同无滑动地向目标架移动，并由主滑块推着副滑块在副导轨上向目标架移动。工作时主滑块先缓慢推副滑块前移精确的一步，主滑块再向前甩出惯性的一步，提高了定位精度，主滑块也可与副滑块分离，提高了副滑块的稳定性。

主权项

一种双滑块高精度惯性压电马达，包括压电体、主导轨、主滑块，其特征在于还包括副导轨、副滑块，目标架，所述主导轨与副导轨分别固定于压电体形变的两端，所述主滑块与副滑块分别设置于主导轨与副导轨上，所述目标架固定于副导轨上，所述主导轨与副导轨的导向方向均与所述压电体的形变方向一致，所述主滑块与主导轨之间的最大静摩擦力大于副滑块与副导轨之间的最大静摩擦力，所述压电体、主导轨、主滑块、副导轨、副滑块和目标架之间的配合为：压电体向着目标架的缓慢形变推动主导轨连同其上的主滑块一同无滑动地向目标架移动，并由主滑块推着副滑块在副导轨上向目标架移动。