[发明专利]基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法

摘要

本发明提出了一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法，本传感器由一个U型波导和三个微环谐振器组成。该传感器结合了高阶微环谐振器的高灵敏度特性和U型波导导致的马赫曾德干涉效应，具有灵敏度高和响应快的优良特性。而且该器件的输入端和输出端在同一侧，更有利于进行传感检测，便于与其他器件的集成。相比于其他光学传感器件，该发明具有低成本、结构紧凑、灵敏度高、制作工艺简便等优点，在光传感器件领域中具有广阔的应用前景。

主权项

一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌微环传感器，包括一个U型波导（1）和三个微环谐振器 （2），其特征在于所述的三个微环谐振器（2）内嵌于U型波导内，介于输入端波导（3）和输出端波导（9）之间，所述微环谐振器（2）和U型波导（1）两者的折射率相同；信号光通过光纤耦合到输入端波导（3），在U型波导（1）和微环谐振器（2）构成的耦合区分成两个传播路径，一部分信号光由耦合区被耦合到微环1（6）中，在微环阵列中进行传输，另有部分信号光继续在U型波导（1）直接进行传输；在微环中传输的信号光到达输出端波导（9）和微环3（4）构成的耦合区被耦合进传输端波导，与在U型波导传输的信号光发生干涉，产生马赫曾德干涉效应，U型波导（1）和串联微环（2）相当于马赫曾德干涉仪的两个干涉臂，输入端波导（3）和微环1（6）构成的耦合区实现马赫曾德干涉仪中的光分束器的作用，微环3（4）和输出端波导（9）构成的耦合区起到马赫曾德干涉仪中光合波器的作用，然后利用光学仪器测量谐振波长的移动进行各种类型的传感。