[发明专利]含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201210546705.4 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103012652A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘陆;舒适;齐永莲;徐传祥 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/06 | 分类号： | C08F220/06;C08F220/14;C08F220/02;C08F220/18;C08F8/26;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用，所述共聚物由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成，其中，R1为O或HN，R2为碳原子数1-4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团（m表示1-3的正整数），n为1-4的正整数，通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z，并且x：y：z=3－8：1－4：1－5，所述共聚物的重均分子量为5000-20000。添加有该共聚物的彩色光阻剂能够提高感度。并且，该共聚物在碱性溶液中具有溶解性，所以，添加有该共聚物的彩色光阻剂具有良好的显影性。 |
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| 搜索关键词： | 含有 乙烯基 基团 共聚物 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种含有乙烯基醚基团的共聚物，其特征在于，由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成，![]()
其中，R1为O或HN，R2为碳原子数为1-4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团，其中，m表示1-3的正整数，![]()
n为1-4的正整数，通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z，并且x：y：z=3－8：1－4：1－5，所述共聚物的重均分子量为5000-20000。
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