[发明专利]非接触式流体元器件振动检测装置

摘要

本发明公开了一种非接触式流体元器件振动检测装置。包括六个结构相同的流场上界面被测流体元器件位姿调节机构、支撑架、三个结构相同的传感测量装置、流场上界面被测流体元器件及其夹持机构、流场下界面结构及其位置调节机构、隔振平台、运动平台、气液管路以及控制器。本发明用于检测缝隙流场下界面静止以及水平运动两种条件下缝隙流场上界面被测流体元器件的振动特性；本发明可实现对缝隙流场的厚度以及上下界面平行度的精确控制；本发明可有效抑制来自地面的振动，并且支撑架具有良好的抗振特性，可实现对微小冲击引起振动的精确检测。

主权项

一种非接触式流体元器件振动检测装置，其特征在于：包括六个结构相同的流场上界面被测流体元器件位姿调节机构(1)、支撑架(2)、三个结构相同的传感测量装置(3)、流场上界面被测流体元器件及其夹持机构(4)、流场下界面结构及其位置调节机构、隔振平台(7)、运动平台(8)、气液管路以及控制器(10)；其中：1) 六个结构相同的流场上界面被测流体元器件位姿调节机构(1)：均包括T型螺栓(1A)、固定模块(1B)、锁紧螺套(1C)、精密螺杆(1D)、位姿调节弹簧挂钩(1E)以及万向挂钩弹簧(1F)；固定模块(1B)的一端与T型螺栓(1A)固定，固定模块(1B)的另一端与第一锁紧螺套固定；精密螺杆(1D)两端分别与第一锁紧螺套、第二锁紧螺套连接；位姿调节弹簧挂钩(1E)的一端与第二锁紧螺套固定，位姿调节弹簧挂钩(1E)的另一端万向挂钩弹簧(1F)的一端连接； 2)支撑架(2)：包括传感器安装支撑架(2A)、位姿调节机构安装支撑架(2B)和六边形底座(2C)；传感器安装支撑架(2A)的3根竖直状态的铝型材下端分别固定于六边形底座(2C)3条互不相邻铝型材的上表面，3根竖直状态的铝型材上端的水平状态的铝型材分别固定于各自竖直状态的铝型材的侧面，并且指向六边形底座(2C)的内侧；位姿调节机构安装支撑架(2B) 的3根竖直状态的铝型材下端分别固定于六边形底座(2C)其余3条互不相邻的铝型材的上表面，3根竖直状态的铝型材上端的水平状态的铝型材一端分别固定于各自竖直状态的铝型材的侧面，另一端通过螺钉固定在位于中心的正六棱柱壳体的3个互不相邻的侧面；位姿调节机构安装支撑架(2B)的3根水平状态的铝型材位于传感器安装支撑架(2A)的 3根水平状态的铝型材的上方；六边形底座(2C)由6根外形相同的铝型材首尾相接构成，接触面为铝型材一端加工而成的60度斜面，任意2根相邻的铝型材通过斜角连接件固定；支撑架(2)中所有垂直连接的铝型材均通过角件以及T型螺栓固定；3) 三个结构相同的传感测量装置(3)：均包括感测头、手动精密平移台以及固定块；每个感测头分别固定在各自的手动精密平移台(3D)上表面；3个手动精密平移台(3D)下表面分别固定在各自的固定块(3E)上表面；4) 流场上界面被测流体元器件的夹持机构(4)：包括卡盘(4B)以及6个卡盘弹簧挂钩(4C)；流场上界面被测流体元器件(4A)通过卡盘(4B)夹持，流场上界面被测流体元器件(4A)下表面为缝隙流场(6)的上界面；卡盘(4B)与6个卡盘弹簧挂钩(4C)固定； 5) 流场下界面结构及其位置调节机构：包括流场下界面结构(5A)和手动精密升降台(5B)；流场下界面结构(5A)为透明的有机玻璃板与手动精密升降台(5B)固定，流场下界面结构(5A)上表面为缝隙流场(6)的下界面；所述的T型螺栓(1A)一端与位姿调节机构安装支撑架(2B)的3根竖直状态的铝型材固定，另一端与固定模块(1B)固定；万向挂钩弹簧(1F)一端与位姿调节弹簧挂钩(1E)连接，另一端与卡盘弹簧挂钩(4C)连接；六边形底座(2C)下表面与隔振平台(7)或运动平台(8)固定；3个固定块(3E)分别通过T型螺栓与传感器安装支撑架(2A)固定；手动精密升降台(5B)与隔振平台(7)固定；注液管路(9A)、回收管路(9B)以及气密封管路(9C)均通过管路和快速气动接头与流场上界面被测流体元器件(4A)连接；控制器(10)通过线缆与感测头(3A～3C)连接。