[发明专利]一种基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪

摘要

本发明公开了一种基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪，包括：入射针孔、变栅距光栅、微凸透镜、透明基板以及阵列光电探测器。其中，变栅距光栅设置于微凸透镜的凸面，微凸透镜的平面与透明基板固定连接；待测光信号从入射针孔入射，被分为包含多种波长光的衍射光信号；微凸透镜对衍射光信号进行聚焦，聚焦后汇聚在阵列光电探测器上形成光点，阵列光电探测器感测汇聚其上的光点。本发明提出的基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪采用变栅距光栅与微凸透镜结合的方式消除像差，从而达到提高光谱分辨率的目的，且变栅距光栅与微凸透镜均采用微纳加工工艺制作，体积大幅减小，便于集成到嵌入式检测系统中。

主权项

一种基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪，用于对待测光信号进行光谱分析，其特征在于，包括：入射针孔、变栅距光栅、微凸透镜、透明基板以及阵列光电探测器，其中，所述变栅距光栅各条栅线的间距不等、形状不同，所述微凸透镜具有一凸面与一平面，所述变栅距光栅设置于所述微凸透镜的凸面一侧，所述微凸透镜的平面与所述透明基板固定连接；待测光信号从所述入射针孔入射，经过所述变栅距光栅后发生衍射，并进行像差校正，所述待测光信号被分为包含多种波长光的衍射光信号；所述微凸透镜对所述衍射光信号进行聚焦，聚焦后的衍射光信号通过所述透明基板汇聚在所述阵列光电探测器上形成光点，其中，所述衍射光信号中波长相同的光在所述阵列光电探测器上汇聚成一点，所述阵列光电探测器感测汇聚其上的光点。