[发明专利]激光钻孔切割异形发光二极管的方法无效
申请号: | 201210548465.1 | 申请日: | 2012-12-17 |
公开(公告)号: | CN103022280A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 谢海忠;于飞;鲁志远;杨华;李璟;伊晓燕;王军喜;王国宏;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;B23K26/38 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种激光钻孔切割异形发光二极管的方法,包括如下步骤:步骤1:将制备好的条状的发光二极管芯片阵列竖直固定;步骤2:将激光器的焦点聚焦在条状的发光二极管芯片阵列的侧表面;步骤3:移动条状的发光二极管芯片阵列,激光器对条状的芯片阵列的衬底进行斜向激光钻孔;步骤4:裂片,制备完成发光二极管单元。 | ||
搜索关键词: | 激光 钻孔 切割 异形 发光二极管 方法 | ||
【主权项】:
一种激光钻孔切割异形发光二极管的方法,包括如下步骤:步骤1:将制备好的条状的发光二极管芯片阵列竖直固定;步骤2:将激光器的焦点聚焦在条状的发光二极管芯片阵列的侧表面;步骤3:移动条状的发光二极管芯片阵列,激光器对条状的芯片阵列的衬底进行斜向激光钻孔;步骤4:裂片,制备完成发光二极管单元。
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