[发明专利]放电离子化电流检测器

摘要

一种放电离子化电流检测器，其耐久性高且能够以低成本制造。包括内部具有绝缘体涂覆金属线(18)的电介质涂覆金属管(16)的电极结构体(19)从上方插入包括电介质管(10)的第一气体通路。金属管在第一气体通路的上游侧接地。金属线的一端从第一气体通路的上游侧引出至外部并连接至偏置电源(33)。在金属线的另一端设置没有被绝缘体覆盖的区域。该区域配置在从第一气体通路的下游端起延伸的第二气体通路内。包括凸缘式金属管(28)的金属电极配置在第二气体通路内并连接至离子化电流检测电路(34)。在本结构中，应被加热至高温的第二气体通路内的金属部件与绝缘构件相接触的部分很少。这对提高装置耐久性并减少昂贵的高耐热性密封构件和/或绝缘构件的使用量而言有利。

主权项

一种放电离子化电流检测器，包括：第一气体通路，其中使等离子体生成气体通过所述第一气体通路，并且在所述第一气体通路中利用放电从所述等离子体生成气体生成等离子体；第二气体通路，其从所述第一气体通路的下游端起延伸，其中在所述第二气体通路中利用所述等离子体的作用使供给至所述第二气体通路的试样气体中的试样成分离子化；电流检测器，用于检测由发生离子化的试样成分所引起的电流；电介质管，其形成所述第一气体通路的至少一部分；等离子体生成用激发电极，其安装至所述电介质管的外周；金属电极，其设置在所述第二气体通路内从而接触所述试样气体；以及电极结构体，其设置在所述第一气体通路内，其中：所述电极结构体包括被电介质材料覆盖的金属管、以及被绝缘材料覆盖并且插入所述金属管内的金属线；所述金属管的一端在所述第一气体通路的上游侧电接地，并且所述金属管的另一端至少到达与所述等离子体生成用激发电极相对的位置；所述金属线的一端从所述第一气体通路的上游侧被引出至外部，并且所述金属线的另一端配置有没有被所述绝缘材料覆盖的区域，其中该区域位于所述第二气体通路内从而接触所述试样气体；以及所述金属线的所述一端和所述金属电极中的一个连接至偏置电源，另一个连接至离子化电流检测电路。