[发明专利]对称等离子体处理室有效
| 申请号： | 201210548948.1 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN103094045B | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·D·卡达希;哈密迪·塔瓦索里;阿吉特·巴拉克利斯纳;陈智刚;安德鲁·源;道格拉斯·A·小布什伯格;卡尔蒂克·贾亚拉曼;沙希德·劳夫;肯尼思·S·柯林斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 张欣 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对称等离子体处理室。本发明实施例提供允许极其对称的电、热和气体传导通过室的室设计。通过提供这种对称，形成在室内的等离子体自然地在设置在室的处理区域中的衬底的表面上具有改进的均匀性。这种改进的对称性以及其他室的附加情况（诸如提供操纵上下电极之间以及在气体入口和被处理的衬底之间的间隙的能力）相较于传统的系统允许对等离子体处理和均匀性更好的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理设备，包括：盖组件和室体，其围成处理区域；以及衬底支撑组件，其设置在所述室体中，其中，所述盖组件包括：上电极；耦合到所述上电极的非导电流体入口管和非导电流体出口管；多个导电配件，其中一个所述导电配件耦合到所述非导电流体入口管，且另一个所述导电配件耦合到所述非导电流体出口管；以及多个导电塞，其耦合到上电极，其中，所述导电配件和所述导电塞围绕所述衬底支撑组件的中心轴线对称布置。
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