[发明专利]一种再布线高密度AAQFN封装器件及其制造方法有效
申请号: | 201210550161.9 | 申请日: | 2012-12-17 |
公开(公告)号: | CN103050452A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 秦飞;夏国峰;安彤;刘程艳;武伟;朱文辉 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/495;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种再布线高密度AAQFN封装器件及其制造方法。制造形成的再布线高密度AAQFN封装器件的引脚在封装工艺过程中采用蚀刻或者电镀方法形成,采用注塑或者丝网印刷方法在引脚之间的凹槽中配置绝缘填充材料,采用蚀刻方法制作再布线层,并形成独立的引脚,采用塑封材料进行包封,塑封完成后,采用化学镀方法在引脚表面制作第二金属材料层。制造形成的再布线高密度AAQFN具有小的尺寸、高的I/O密度、低的制造成本和良好的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 布线 高密度 aaqfn 封装 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种再布线高密度AAQFN封装器件,其特征在于,包括:引脚在封装器件中呈面阵排列;绝缘填充材料配置于引脚与引脚之间;IC芯片通过粘贴材料配置于封装器件的中心位置;第一金属材料层围绕IC芯片排列;引脚通过再布线层实现与第一金属材料层的连接;第二金属材料层配置于引脚的下表面;IC芯片通过金属导线连接至第一金属材料层;塑封材料包覆密封上述IC芯片、粘贴材料、金属导线、第一金属材料层和再布线层,仅仅暴露出配置于引脚下表面的第二金属材料层。
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