[发明专利]一种铌管状靶材及其生产方法有效
| 申请号： | 201210550283.8 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103866244A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张国军;李桂鹏;汪凯;同磊;张春恒;李兆博;许宁;郭从喜;任晓 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21C23/08;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵;李玉秋 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铌管状靶材的生产方法，包括以下步骤：将铌管坯进行第一次加热；向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉；将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压；将热挤压后的铌管坯进行酸洗；将酸洗后的铌管坯进行热处理，得到铌管状靶材。本发明将玻璃粉喷涂至铌管坯的表面，由于玻璃粉导热系数较小，其存在于铌管坯与挤压机工模具接触面之间，形成一层绝热、抗氧化层，从而使铌管坯易于成型；另一方面，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，避免了与铌管坯表面粘连的问题，从而使铌管坯的表面质量较好，同时由于玻璃粉的润滑效果，使铌管状靶材挤压易成型。本发明还提供了一种铌管状靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种铌管状靶材的生产方法，包括以下步骤：将铌管坯进行第一次加热；向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉；将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压；将热挤压后的铌管坯进行酸洗；将酸洗后的铌管坯进行热处理，得到铌管状靶材。
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