[发明专利]钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210550396.8 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103774089A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 洪春福;刘智勇;杨润田;钱坤明 | 申请（专利权）人： | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315103 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N2，按时间线性提高N2流量控制Ar/N2流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源，关闭N2通入；最后取出镀膜样品；其硬度更高、断裂韧性更高、在400~600℃环境下摩擦系数和磨损率更低。 | ||
| 搜索关键词： | 钛铝银氮 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛铝银氮纳米复合涂层，其特征在于：组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝。
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