[发明专利]一种铌合金靶材及其制备方法

摘要

本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。

主权项

一种铌合金靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌合金管坯进行预热，在预热后的铌合金管坯表面涂抹玻璃粉；b）将步骤a）得到的铌合金管坯进行热挤压，将热挤压后的铌合金管坯进行酸洗，将酸洗后的铌合金管坯进行热处理；c）采用第一刀具对步骤b）得到的铌合金管坯的内孔进行镗铣，得到铌合金靶材；所述第一刀具的刀头为双刀头或单刀头，所述第一刀具的刀杆的长度大于5000mm，所述双刀头在所述刀杆工作端沿轴线方向依次设置，所述刀头的刃倾角为负值。