[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜电池共蒸发线性源的布置方法有效
| 申请号： | 201210551773.X | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103866236A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 于大洋;王葛;丁建 | 申请（专利权）人： | 北京汉能创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01L31/18 |
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| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜电池共蒸发线性源的布置方法，包括玻璃基板和线性蒸发源，线性蒸发源沿玻璃基板的移动方向纵向排列在玻璃基板两边的下侧，每个线性蒸发源只放置一种原料，玻璃基板每一侧下方的线性蒸发源呈倾角排列。本发明使得玻璃基板进入蒸发区时，能够同时接触到均匀混合的原料蒸汽，各线性蒸发源的原料蒸汽可以按照预先设定的工艺配比布置蒸发区，有效提高了电池生产工艺上的原料配比调节的灵活性，同时可以提高原材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓硒 薄膜 电池 蒸发 线性 布置 方法 | ||
【主权项】：
一种铜铟镓硒薄膜电池共蒸发线性源的布置方法，包括玻璃基板和线性蒸发源，其特征在于，线性蒸发源沿玻璃基板的移动方向纵向排列在玻璃基板两边的下侧。
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