[发明专利]一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构在审
| 申请号： | 201210552670.5 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103871817A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黄惠良;李雪峰;陈子勇 | 申请（专利权）人： | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 201818 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。本发明在气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上增设一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地，由此能够把信号干扰通过接地线排除，使气体流量器发出的信号通过信号过滤器完整地发送到氦气阀开闭控制装置，确保信号稳定的传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 感应 耦合 等离子体 刻蚀 信号 过滤 结构 | ||
【主权项】：
一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，其特征在于，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。
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