[发明专利]基板吸附装置无效
| 申请号： | 201210552935.1 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103372825A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 高松生芳 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明以简单的构成提供一种基板吸附装置，该基板吸附装置借由缓慢地达到必要的基板吸附压，而抑制残留的碎屑导致基板刮痕的发生，同时能够将整体加工时间的延迟抑制到最小。从吸附平台1的吸引孔（1a）连通真空泵（P）的空气流路（2）的中间安装流量控制部（3），且流量控制部（3）具备有以下构成：将吸附基板（W）的方向的空气流动作为控制流而限制基板（W）的急速吸引的绞拧部、以及容许其反方向流动的止回阀（37）。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 | ||
【主权项】：
一种基板吸附装置，在吸附平台的表面设置多个吸引孔，且借由来自真空泵的吸引空气而保持吸附载置于吸附平台上的基板，其特征在于：在从该吸附平台的吸引孔连通真空泵的空气流路中安装流量控制部，且该流量控制部具备有：绞拧部，将吸附基板的方向的空气的流动作为控制流而限制基板的吸引；以及止回阀，容许空气反方向流动。
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