[发明专利]一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法

摘要

本发明公开了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制造方法，通过将传统的气体喷淋头的气体通孔设置为直径不同的两段，在不影响气体流速的前提下提高了涂层进入气体通孔的深度，同时，采用对分别气体喷淋头上下表面涂覆陶瓷涂层，使得气体通孔的内表面可以完全涂覆防腐蚀的陶瓷涂层，保护气体通孔的侧壁不受携能粒子的轰击，延长了气体喷淋头的使用寿命。

主权项

一种耐腐蚀的气体喷淋头，包括气体喷淋头主板和若干贯穿所述气体喷淋头主板的气体通道，其特征在于：所述气体通道包括至少第一直径通道和第二直径通道，所述第一直径小于所述第二直径，所述气体通道表面涂覆耐腐蚀层，所述耐腐蚀涂层包括微弧氧化层。