[发明专利]一种光学镀膜挡边方法

摘要

本发明公开了一种光学镀膜挡边方法，它包括：制作掩模版——涂光刻胶——预烘烤——曝光——显影——坚膜——镀膜——脱膜——擦拭干净、镀膜完成，本发明的一种光学镀膜挡边方法，易于精确控制，适于批量生产。

主权项

一种光学镀膜挡边方法，其特征为：包含以下流程S1：采用铬版或者菲淋版制作掩模版:，掩模版的作用为阻止紫外光通过；S2在光学镜片表面均匀涂附光刻胶，并进行预烘；然后在其表面覆盖掩模版，通过一定强度的平行紫外光的选择性照射，使受光照部位（即光学镜片挡边之外的区域，有效通过孔径）的光刻胶发生化学反应，改变了这部分胶膜在显影液中的溶解度；S3采用低浓度的NaOH溶液喷淋曝光光学镜片表面，使其挡边之外区域被感光的光刻胶被溶解掉，没有被感光的光刻胶（挡边区域）仍然存在，再通过去离子水清洗，这样在光学镜片上就形成与掩模版相同的图案，此时，挡边区域已被光刻胶覆盖住；S4采用加热方式坚膜，加热温度在40‑300℃，使得挡边区域光刻胶图案的牢固地黏附在光学镜片上；S5将挡边位置涂布光刻胶的光学镜片，擦拭干净后，放入镀膜机内镀制减反膜、高反膜、分光膜、偏振膜、各种窄带或截止滤光片；S6光学镜片的膜系镀完后，利用喷淋加超声波的方式冲洗，光刻胶可与高浓度的碱液起反应，把覆盖在光学镜片上的光刻胶反应掉，显露出挡边的区域，即挡边处没有镀膜，剩下的区域为已经镀好膜的有效通光孔径区域。