[发明专利]阻变存储器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201210555309.8 申请日: 2012-12-19
公开(公告)号: CN103035838A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 蔡一茂;毛俊;黄如;王宗巍;刘业帆;余牧溪 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;G11C13/00
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 俞波;许伟群
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例公开了一种阻变存储器件及其制备方法。该阻变存储器件包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。本发明实施例所提供的阻变存储器件及其制备方法,可以实现阻变存储器件的多值存储,从而可以大幅度增加由阻变存储器件构成的存储器的存储密度。
搜索关键词: 存储 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
一种阻变存储器件,其特征在于,包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。
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