[发明专利]阻变存储器件及其制备方法有效
申请号: | 201210555309.8 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN103035838A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 蔡一茂;毛俊;黄如;王宗巍;刘业帆;余牧溪 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;许伟群 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种阻变存储器件及其制备方法。该阻变存储器件包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。本发明实施例所提供的阻变存储器件及其制备方法,可以实现阻变存储器件的多值存储,从而可以大幅度增加由阻变存储器件构成的存储器的存储密度。 | ||
搜索关键词: | 存储 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阻变存储器件,其特征在于,包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。
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