[发明专利]扫描镜控制有效
| 申请号： | 201210557031.8 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103149685A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂夫·霍姆斯;克林特·查尔斯·罗林斯;玛格丽特·K·布朗;迈克尔·李·沙夫;布鲁斯·C·罗萨尔;罗伯特·詹姆士·杰克逊;利福德·麦克劳克兰;麦鲁比·麦鲁比奥格鲁;格里高利·施奈德 | 申请（专利权）人： | 微视公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;穆德骏 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描镜控制，特别是一种扫描光束投影系统（100），包括具有快扫轴和慢扫轴的扫描镜（116）。由慢扫扫描镜控制系统（130）控制慢扫轴上的运动。控制系统接收描述镜子的角位移的位置信息。控制系统的外回路在频域中操作，以及确定用于扫描镜驱动信号的谐波驱动系数。控制系统的内回路在时域中操作，并对在由谐波驱动系数占用的频带内的频率的扫描镜共振模式进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 控制 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：扫描镜，所述扫描镜具有快扫轴和慢扫轴，所述慢扫轴具有位置检测器；外控制回路，所述外控制回路在频域中进行操作，以响应从所述位置检测器接收的位置信息，来确定驱动信号的谐波系数；以及内控制回路，所述内控制回路在时域中进行操作，以便对在由驱动信号的谐波系数占用的频带内的频率的扫描镜共振模式进行补偿。
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