[发明专利]一种晶圆的分配系统及分配方法

摘要

本发明涉及一种晶圆的分配系统及分配方法，为各个产品的需求中针对同一种不同供货来源的晶圆进行匹配，通过综合考虑工艺整合部门对产品允许各个产品使用晶圆的供货来源，生产计划部门给出的产品月/日投片计划，各个晶圆来源的库存量，采购时的进货及补货等计划的相应要求，由配额控制系统对产品在各个来源处的晶圆领用配额进行设置或调整。再由晶圆派发系统响应用户的晶圆领用需求，根据产品在各个可用来源处的领用配额，累计领用量和实时的库存量，计算出可以在各个来源处领用的晶圆数量。本发明解决了原本在不同来源处可能出现的晶圆断料或冗余问题，对于超配额的领用需求，也可以通过及时调整配额或运行超额处理算法来满足。

主权项

一种晶圆的分配系统，为各个产品的需求中针对同一种不同供货来源的晶圆进行匹配，其特征在于，包含：配额控制系统，通过接收生产计划部门的系统所提供的晶圆月投片计划，以及工艺整合部门的产品系统对于每个产品允许使用的晶圆种类、晶圆来源的限定要求，来对每个产品在各个可用来源处晶圆的领用配额进行设定和调整，使得各个产品的所述领用配额还能与各个可用来源的晶圆库存量、预计进货量以及其他产品对晶圆的领用需求也都相互匹配；晶圆派发系统，其接收用户每次通过领料系统所提出的晶圆领用需求，根据各个产品在各个可用来源处的领用配额，累计领用量和实时的库存量，将对晶圆分配的计算结果反馈至所述领料系统，进而由仓库根据该反馈信息发放相应种类、来源和数量的晶圆；所述晶圆派发系统还设置有记录并显示晶圆的实际领用量与所设定的领用配额之间差值的报告输出模块；所述晶圆派发系统在接收到产品对其中一些可用来源有超出配额的晶圆领用需求时，通过该晶圆派发系统设置的超额处理模块，从该产品的其他一些可用来源中选择库存最高的进行晶圆派发；任意一个产品在全部可用来源的配额已经用完还不能满足需求时，置位一个超额标志；所述超额处理模块对按照各自剩余需求量从小到大排序的所有产品进行循环检测，以及在任意一个产品的循环期间检测到超额标志置位时，按库存量从大到小排序的各个可用来源进行循环检测，并且在每个可用来源的循环期间检测到当前的剩余需求量大于零时，将当前的剩余需求量与库存量中的最小值作为实际领用量，向用户派发相应数量的晶圆。