[发明专利]一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头无效
| 申请号： | 201210557870.X | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103075952A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 吴俊杰;李源;范国芳;陈欣;雷李华;毛辰飞 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 尺度 二维 尺寸 测量 触觉 | ||
【主权项】：
一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
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